MICRO  SHED

适用于炭罐、油管等较小部件

典型有效体积（可以更小）：

0.5×0.5 ×0.5M （W×H×L）

单气袋流量控制压力补偿

EST超低挥发技术（密封、照明、电机等）

HFID 分析仪

MEXA 1170

EST软件(可控制10个以上SHED)

HC背景水平≤1ppm（C1)